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本申请公开了超声波换能器和超声波指纹传感器。所述超声波换能器用于根据驱动信号产生超声波以及根据回波产生检测信号，其特征在于，包括：掩模层，所述掩模层覆盖和围绕空腔，并且包括从表面延伸至所述空腔的开口；以及位于所述掩模层上的压电叠层。该超声波...
该专利属于杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。

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