下载压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置的技术资料

文档序号:17747067

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本发明的目的是将压电式线性致动器、压电驱动阀、以及流量控制装置薄型化。本发明的压电式线性致动器(1)具备:积层压电致动器(2);支撑积层压电致动器(2),并且向该积层压电致动器(2)的左右侧方延伸的下部支撑部件(3);沿着积层压电致动器(2...
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