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本实用新型公开了一种三维栅介质结构的增强型功率晶体管,所述晶体管由下至上包括衬底、缓冲层、沟道层及势垒层,势垒层上设有源极、漏极和电介质层,源极和漏极之间的电介质层上设有栅极,所述栅极下方的势垒层至多部分设有凹槽,所述凹槽沿栅极长度方向延伸...该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种三维栅介质结构的增强型功率晶体管,所述晶体管由下至上包括衬底、缓冲层、沟道层及势垒层,势垒层上设有源极、漏极和电介质层,源极和漏极之间的电介质层上设有栅极,所述栅极下方的势垒层至多部分设有凹槽,所述凹槽沿栅极长度方向延伸...