下载基于差分位置检测的光学伺服系统的技术资料

文档序号:17740611

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本实用新型涉及光学处理设备技术领域,具体涉及一种基于差分位置检测的光学伺服系统,包括设有相机和差分运算器且用以检测焦点位置变化的差分位置检测组件、用以对光进行校正的波前矫正器、用以处理差分位置检测组件的传输信息和控制波前矫正器且同时实现对光...
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