下载一种基于多面棱镜四光路双通道激光刻痕光学系统的技术资料

文档序号:17740608

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本实用新型公开了一种基于多面棱镜四光路双通道激光刻痕光学系统,包括组合准直镜阵列模块、柱面聚焦镜阵列模块、棱镜前平反镜组阵列模块、多面棱镜、长条离轴抛物柱面镜阵列模块、吸光阵列模块、长条斜平反镜组阵列模块、长条平反镜阵列模块、长条斜抛物柱面...
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