下载一种白光干涉三维形貌再现装置的技术资料

文档序号:17738705

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本实用新型属于光机电一体化的应用装置领域,具体涉及一种白光干涉三维形貌再现装置,包括计算机、驱动装置、依次设置的CCD图像传感器、显微目镜、显微物镜、光学补偿板、分光板和工作台,驱动装置用于驱动工作台等距位移直线运动,光学补偿板和分光板的上...
该专利属于常州大学怀德学院所有,仅供学习研究参考,未经过常州大学怀德学院授权不得商用。

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