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本发明公开了一种微型压电超声换能器及其制作方法，在硅衬底上设置至少一个震膜结构，该震膜结构由凸出于硅衬底的中空结构和凸出于中空结构外表面的至少一个拖尾结构构成。通过将震膜结构从二维平面结构变更为三维立体的中空结构，使换能器无需设置支撑层，凭...
该专利属于深圳市诺维创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市诺维创科技有限公司授权不得商用。

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