下载一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法的技术资料

文档序号:17731708

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本发明公开了一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法。该方法首先获取待测元件经干涉仪生成的单幅加载频干涉条纹图像,然后对条纹图像进行延拓及边缘平滑处理,再对延拓条纹图像进行快速傅里叶变换(FFT)以获取其频谱。针对该频谱运用二维插值FFT算法...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。

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