下载向气体消耗装置供气的方法及设备的技术资料

文档序号:1771942

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一种气体消耗装置(HF),它的一部分供气通过一个压缩装置(21)直接送来的气流供给,一部分供气通过一个分离装置(25)送来的气供给,分离装置(25)自身由压缩装置直接送来的气供给。分离装置产生的低压的其它气流在送到消耗装置之前返回到压缩装置...
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