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一种用于多晶硅还原炉生产中的节能装置制造方法及图纸
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下载一种用于多晶硅还原炉生产中的节能装置的技术资料
文档序号:17708131
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本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉生产中的节能装置,包括还原炉冷却单元、夹套热脱盐水热能利用单元、底盘热脱盐水热能利用单元、电极中温冷却水单元。本实用新型结合多晶硅精馏耦合单元所需要消耗蒸汽的规格,通过分别提高进入还原炉夹套和还原炉底盘的...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。
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