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本发明公开了一种基于神经网络模型的光学邻近校正方法，包括以下步骤：S01：训练神经网络模型，包括在训练光罩上选择M个测试图案；分别获得上述M个测试图案所对应的目标图案；利用已知的感知神经网络模拟出类强度函数...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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