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电极单端悬浮的电容压力传感器制造技术
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文档序号:17702533
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一种电极单端悬浮电容压力传感器,解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题。其技术要点是:动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极;定电极绝缘体采用蓝宝石单晶制作的蓝宝石绝缘体,下夹持悬浮座、上夹持焊环、双面镀贵金属...
该专利属于沈阳市传感技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳市传感技术研究所授权不得商用。
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