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一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置制造方法及图纸
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下载一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置的技术资料
文档序号:17702496
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本实用新型属于晶棒开方设备领域,尤其涉及一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置。一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置,包括支撑头座,所述支撑头座外套有主压头,浮动压头波纹管和气缸安装座;所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接;所述主压...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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