温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材及其制备方法。本发明通过球磨再砂磨的方式实现原料粒径的纳米化，并且结合两次烧结方式，在初级烧结过程实现混合氧化物间不同氧化物的固相反应，得到锆酸镧基材料，经后续粉碎、成型以及水分和粘结剂的...
该专利属于内蒙古科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。