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本发明涉及一种具有推力增程模块的MEMS微推力器阵列芯片，包括由下至上依次设置的点火层、药室层和推力增程模块；所述推力增程模块的上表面设置有外喷孔，推力增程模块的下表面设置有内喷孔，内喷孔和外喷孔之间设置有单晶硅薄膜，作为内外喷孔之间的隔膜...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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