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本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有收纳空间的外壳及收纳于所述收纳空间内的具有背腔的MEMS芯片和ASIC芯片，所述外壳上设有声孔，所述声孔与所述MEMS芯片的背腔连通，所述外壳内侧对应所述声孔位置处设置有凹槽，所述凹槽与所述声孔相...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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