下载电极保护装置、电极保护结构及48对棒还原炉的技术资料

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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,运行过程中电极和底盘形成短路回路,使运行中断的问题,提供一种电极保护装置、电极保护结构及48对棒还原炉。本实用新型的实施例中提供的电极保护装置,防护部与套筒部之间形成环状的空腔。电极外侧的绝缘套的一端延伸至...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。

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