下载高结晶质量石墨烯的制备方法的技术资料

文档序号:17668306

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本发明涉及一种高结晶质量石墨烯的制备方法,该方法包括:选取SiC衬底;刻蚀SiC衬底形成台面结构的预刻蚀衬底;在所述预刻蚀衬底上生长3C‑SiC材料;热解3C‑SiC材料,以完成高结晶石墨烯的制备。本发明通过预刻蚀SiC衬底,有效隔离缺陷间...
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