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本发明涉及一种离子源，包括引出极板、第一绝缘件、第一接地板、第一套筒、离子聚焦模块、第二接地板、连接件、反射镜及偏转模块。引出极板通过第一绝缘件与第一接地板相连。第一套筒一端与第一接地板相连，第一套筒另一端与离子聚焦模块相连。所述第二接地板...
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