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螺旋式卡点石墨舟制造技术
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下载螺旋式卡点石墨舟的技术资料
文档序号:17659032
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本实用新型涉及领域,尤其涉及一种螺旋式卡点石墨舟,将卡点改为螺旋式卡点安装在石墨舟舟片上,当卡点磨损时,可以根据实际情况调整卡点的松紧程度,使得硅片始终能与石墨舟舟片保持紧密接触,减少了硅片发红色差返工数量,提高了石墨舟卡点的使用寿命。...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。
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