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本申请涉及晶体管加工领域，具体公开了一种功率晶体管表面钝化装置，其包括反应管、套设于反应管外的外管和设于反应管和外管之间的中管；反应管和外管之间为除尘腔；反应管和中管之间为除尘通道，除尘通道中部的横截面收缩，除尘通道的上端与除尘腔连通；中管...
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