温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种鳍式场效应晶体管的形成方法，包括：提供半导体衬底，向所述半导体衬底内进行阈值电压离子注入，以形成阈值电压注入区；对所述半导体衬底进行刻蚀以形成凸出的鳍部，所述鳍部包括所述阈值电压注入区在深度方向上的至少一部分；在所述鳍部的侧壁表面形成非...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。