下载具有升降功能的基板装载装置的技术资料

文档序号:17653602

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本发明公开了一种具有升降功能的基板装载装置,包括底框、多根升降轴和多个支撑架,所述多根升降轴均垂直固定于所述底框上,所述多个支撑架层叠设置且相邻的所述支撑架间隔,每个所述支撑架连接于所述多根升降轴上,所述多根升降轴用于带动每个所述支撑架沿着...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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