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本实用新型提出了一种具有锲形形状薄膜的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器：包括带有空腔的衬底，形成在所述空腔上方的压电堆叠结构；所述压电堆叠结构包括堆叠的底电极、压电材料、顶电极，其中所述底电极具有锲形的边缘结构。本实用新型通过对一般常用...
该专利属于王国浩所有，仅供学习研究参考，未经过王国浩授权不得商用。

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