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上转换发光材料的制造方法技术
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下载上转换发光材料的制造方法的技术资料
文档序号:17611271
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本发明公开了一种上转换发光材料的制造方法,形成步骤包括:步骤一、提供多靶磁控溅射设备;步骤二、安装靶材,靶材根据所要形成的稀土掺杂硫氧化物进行选取,包括:稀土掺杂硫氧化物的硫氧化物基质材料对应的基质稀土氧化物靶和基质稀土硫化物靶,稀土掺杂硫...
该专利属于韩山师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过韩山师范学院授权不得商用。
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