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本发明提供了一种微调式升降装置，包括支撑板、驱动器、调节件及若干升降杆。支撑板位于腔体外且与腔体的底板平行，升降杆的下端均固定在支撑板上，升降杆的上端均呈密封的伸入真空腔内并形成承载工件的支撑面，调节件的上端与支撑板呈旋转的卡合连接，调节件...
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