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本发明公开了一种具有高线性度的电容式压力传感器，该压力传感器包括从下向上依次布设的硅衬底层、二氧化硅层和多晶硅层；硅衬底层中设有第一空腔和四个下电极；二氧化硅层中设有多晶硅支撑层和第二空腔，第二空腔与第一空腔连通；多晶硅层包括可动敏感薄膜层...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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