下载晶棒检验系统的技术资料

文档序号:17602695

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本实用新型涉及一种晶棒检验系统,其包括晶棒传输线、光检机构、移载机以及控制单元;晶棒传输线沿传输方向依次包括上料区、用于检测晶棒的检测区、以及用于将检测后的良品与不良品分开的分流区;所述光检机构设置在所述检测区上;所述移载机设置在所述分流区...
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