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一种振膜及MEMS麦克风制造技术
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下载一种振膜及MEMS麦克风的技术资料
文档序号:17601562
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本发明公开了一种振膜及MEMS麦克风,属于电子设备技术领域。本发明所提供的振膜包括薄膜本体和连接部,薄膜本体上设置有多个第一气孔和第二气孔,每一第一气孔内均设置有一第一弧形挡片,每一第二气孔内均设置有一第二弧形挡片。该振膜通过在薄膜本体上设...
该专利属于上海微联传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微联传感科技有限公司授权不得商用。
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