下载微型电场传感器封装件及其半成品的技术资料

文档序号:17600682

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本实用新型揭示了微型电场传感器封装件及其半成品,电场传感器封装件包括基板以及与其连接形成内腔的塑料上盖,基板上设置有位于内腔中的MEMS芯片,MEMS芯片通过引线与基板上的电路连接通信,塑料上盖的顶板的底面形成有与MEMS芯片贴近的凸起部,...
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