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本实用新型提供一种基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器，包括：光会聚模块；微振镜模块，设置于光会聚模块的出射光路上，接收光会聚模块射出的光并进行不同角度的反射；滤光模块，设置于微振镜模块的出射光路上，接收振镜模块反射的光并进行过滤，得...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。

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