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本申请提供了一种检测晶圆放置状态的方法及系统，可以提升晶圆放置状态检测精度。包括：光源发生器、光源接收器、晶圆及光波接收透射器，光源发生器输出的光源照射到晶圆壁上；光波接收透射器位于晶圆与光源接收器之间，用于接收光源发生器输出的光源中未被晶...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。