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提供一种形状测定装置，其具有：照射部，对测定对象的测定区域照射测定光；摄影部，取得包含被前述照射部照射的位置的前述测定区域的像；载台，载置前述测定对象；坐标算出部，从以检测部检测出的像算出前述测定区域的位置；以及定位机构，将前述摄影部与前述...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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