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本揭露涉及一种用于沉积复合层的设备，其包含腔室、衬底支撑件、驱动单元、喷淋头、源气体供应单元、第一反应气体供应单元和第二反应气体供应单元。衬底支撑件安置于腔室中以支撑其上沉积薄膜的衬底。驱动单元连接到衬底支撑件。喷淋头被配置以通过面向衬底的...
该专利属于AP系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司授权不得商用。

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