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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:17574165
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半导体装置具备TFT(101),该TFT(101)具有:栅极电极(12);栅极绝缘层(14),其覆盖栅极电极;金属氧化物层(16A),其包括沟道区域(16c)、源极接触区域(16s)以及漏极接触区域(16d);第1电极(18A),其与源极接...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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