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具有浮栅、字线、擦除栅的分裂栅非易失性存储器单元制造技术
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下载具有浮栅、字线、擦除栅的分裂栅非易失性存储器单元的技术资料
文档序号:17574151
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本发明公开了一种存储器设备,所述存储器设备包括硅半导体衬底,形成于所述衬底中且其间具有沟道区的间隔开的源极区和漏极区,以及设置在所述沟道区的第一部分和所述源极区的第一部分上方的导电浮栅。擦除栅包括第一部分和第二部分,所述第一部分与所述浮栅横...
该专利属于硅存储技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅存储技术公司授权不得商用。
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