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用于多参数检测的激光传感器制造技术
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下载用于多参数检测的激光传感器的技术资料
文档序号:17572238
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本发明描述了一种激光传感器模块(100),其适于通过将激光束聚焦到不同的位置,借助于自混合干涉来检测或确定至少两个不同的物理参数。这样的激光传感器模块(100)可以用作例如移动设备(250)中的集成传感器模块。所述激光传感器模块(100)可...
该专利属于皇家飞利浦有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦有限公司授权不得商用。
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