下载用于多参数检测的激光传感器的技术资料

文档序号:17572238

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本发明描述了一种激光传感器模块(100),其适于通过将激光束聚焦到不同的位置,借助于自混合干涉来检测或确定至少两个不同的物理参数。这样的激光传感器模块(100)可以用作例如移动设备(250)中的集成传感器模块。所述激光传感器模块(100)可...
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