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一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器，包括：绝缘密封外壳，其内部为空腔结构；以及MEMS电场测量模块，设置在所述空腔结构内，用于探测外界电场。...
该专利属于北京中科飞龙传感技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科飞龙传感技术有限责任公司授权不得商用。

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