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本发明涉及一种泵系统，所述泵系统包括真空泵(12)和连接至所述真空泵(12)的冷却元件(18)。冷却剂供给(20)和冷却剂排放(22)连接至所述冷却元件(18)，用于通过利用冷却剂吸收和排放热量来冷却所述真空泵。所述冷却剂供给(20)和所述...
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