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本发明涉及一种用于微电子结构元件装置的制造方法和相应的微电子结构元件装置。所述制造方法在此包括所述步骤，据此提供一种具有第一表面和与所述第一表面相对置的第二表面以及至少一个侧面的传感器，其中，所述第一表面至少局部地具有探测面。在下一步骤中将...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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