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本实用新型公开一种激光固相沉积仪器及其测试方法，包括烘箱、PVT筒、中间容器、固相沉积容器、PVT筒推动泵、中间容器自动泵、氦氖激光发射器、光电转换接收器、电压表；所述固相沉积容器包括左端盖、左圆筒、蓝宝石玻璃片圆柱、右圆筒、右端盖、准直器...
该专利属于西南石油大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南石油大学授权不得商用。

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