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本发明公开了一种具有过滤功能的多级级联气路系统,沿样气流动方向依次包括过滤装置、抽气泵和由多个气室串联形成的级联气室组;单个气室内均设置有用于检测的传感器,所述多级联气路系统的进气口和出气口分别位于过滤装置和尾端气室;通过在抽气泵的后端设置...该专利属于中煤科工集团重庆研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中煤科工集团重庆研究院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种具有过滤功能的多级级联气路系统,沿样气流动方向依次包括过滤装置、抽气泵和由多个气室串联形成的级联气室组;单个气室内均设置有用于检测的传感器,所述多级联气路系统的进气口和出气口分别位于过滤装置和尾端气室;通过在抽气泵的后端设置...