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压力传感器、压力传感器阵列及其制备方法技术
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文档序号:17559572
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一种压力传感器、压力传感器阵列及其制备方法,其中压力传感器包括:有机薄膜晶体管,所述有机薄膜晶体管包括:衬底、位于衬底表面的栅电极、覆盖所述栅电极和衬底的绝缘层、位于所述绝缘层表面的源电极和漏电极、覆盖所述源电极和漏电极以及绝缘层的半导体层...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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