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一种采用膜分离含氟废气的方法，含氟废气经预处理后，在压力0.2 ～ 1.0MPa 优选0.4 ～ 0.9MPa、温度20 ～ 80℃优选20 ～ 60℃的条件下进入膜分离器，分离出含少量氟产品的渗透气和浓缩了含高浓度产品的截留气，其中渗透气...该专利属于上海安居乐环保科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海安居乐环保科技股份有限公司授权不得商用。
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一种采用膜分离含氟废气的方法，含氟废气经预处理后，在压力0.2 ～ 1.0MPa 优选0.4 ～ 0.9MPa、温度20 ～ 80℃优选20 ～ 60℃的条件下进入膜分离器，分离出含少量氟产品的渗透气和浓缩了含高浓度产品的截留气，其中渗透气...