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本发明一种压电‑电磁混合驱动的XYθZ三自由度柔性作动器及方法，该作动器包括上平台、底座、音圈电机和压电堆；所述上平台包括U形移动块、分别与移动块的内部和外部通过H形柔性铰链和双平行板柔性铰链连接的动平台、分设在四个角部的固定体以及与动平台...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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