下载开关器件和制造开关器件的方法的技术资料

文档序号:17543117

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本发明涉及开关器件和制造开关器件的方法。开关器件包括半导体衬底;第一沟槽和第二沟槽;栅极绝缘层;和栅极电极。半导体衬底包括在延伸到第一沟槽和第二沟槽的底表面的区域中布置的第一导电类型的第一半导体区、第二导电类型的本体区、第一导电类型的第二半...
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