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本实用新型公开了一种QCM湿度传感器，其特征在于：包括压电晶片、绝缘层、金属电极层和湿度敏感薄膜层；所述金属电极层包括第一金属电极层和第二金属电极层；所述第一金属电极层包括两个电极，分别设置于压电晶片两个面上，其中一个电极表面设有绝缘层；所...
该专利属于成都信息工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过成都信息工程大学授权不得商用。

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