下载一种碳化硅颗粒收集箱的技术资料

文档序号:17528058

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本发明公开了一种碳化硅颗粒收集箱,收集箱本体下部设有支撑腿,支撑腿下部设有吸盘,所述收集箱本体内设有初级收集室、二级净化室和三级净化室,初级收集室的一侧设有进气管道和电极,所述电极从上到下外径逐渐缩小,定向声波震动发生器进一步设置在收集箱本...
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