下载光刻机专用滚轮挂车板的技术资料

文档序号:17526304

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本实用新型公开了一种光刻机专用滚轮挂车板。它包括一车板平台;车板平台上后部中间位置设有若干组可升降重载辊道;每组重载辊道下面设若干气囊;车板平台下面设储气罐,所有气囊均与储气罐连接,储气罐与牵引车头连接;每组重载辊道上面设有若干圆形滚轮;车...
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