下载微通道结构颗粒物集尘器、集尘方法及其制作方法的技术资料

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本发明公开了一种微通道结构颗粒物集尘器、集尘方法及其制作方法,该集尘器的主体为具有阵列分布的孔洞,该孔洞的上内壁或者下内壁设置有导电材料制作的导电部,孔洞相对导电部的另一侧的外表面设置有导电膜;将所有孔洞的导电部电性连接构成第一电极;导电膜...
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